純水 浄水器 逆浸透装置 軟水装置精製水 イオン交換 安全

純水 浄水器 逆浸透装置 軟水装置 イオン交換 安全 〒254-0087
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An article introduction 商品紹介
ヒートクリーンシステム
ヒートクリーンシステム
1.シリコンウエハー研磨排水
半導体製造プロセスの後工程における「BG(バックグラインド)」及び「ダイシングソー」工程での超純水排水は、一般的に純水中にシリコン研磨排水(粒子)のみを含んだものであり、このプロセス工程のみを分離回収する事で排水をリサイクルする事は、ここ数年ほとんどの企業で導入が進んでおります。
本装置の回収プロセスのシステムは有機膜分離と無機膜分離とに大別できます。

    有機膜:UF膜 MF膜
    無機膜:セラミック膜

どちらの膜を使用しても循環濾過システム方式であり、双方多くの特徴を持った優秀なシステムが 販売されています。
しかしながら、循環濾過(クロスフロー)方式により大流量を流すことにより、膜に対して弊害も多く出ている事も事実です。
膜閉塞を起こし濾過流量の減少につながり数ヶ月に一度,定期的に膜の薬品洗浄を行なう必要性が発生し,その洗浄液(主にアルカリ排水NaOH)の処分の煩雑さ課題となってきております。

株式会社エステクモはここに着目し、1年間ノーメンテナンス装置をご提案申し上げます。
2.エステクモの提案する研磨排水処理装置
 1)システム方式
処理方式:有機膜、全濾過システム
濾過精度:0.02μm,0.1μm MF膜
洗浄方法:エアー逆洗方式
再生:熱再生方式(ヒートクリーンシステム)
2) 装置の特徴
全濾過システムを採用することにより、循環濾過ポンプ(大流量ポンプ)が不要になります。
電気代等のエネルギーコストがダウン可能です。

洗浄方式に、エアー逆洗機構を組み込んでおりますので、1年間ノーメンテナンスにて運用が可能です。

膜再生システムに熱再生(80℃温水洗浄)を採用しています。
膜付着物質は主にシリコン研磨粒子と菌類です、通常逆洗では粒子は除去できますが、菌類は除去できません。
定期的な熱殺菌(1週/回)を実施し、菌類を除去することで1年間のノントラブル運転を可能としました。
 3)装置フロー
装置フロー
                      排水リサイクル装置(ヒートクリーン).pdf